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光栅传感器的工作原理和应用

关键词:光栅 传感器 发布时间:2017-03-23 09:59:26 点击:
         一、光栅的分类 
         光栅是光栅传感器中的主要元件,在长度和角度测量中应用的光栅,常称为计量光栅。
         (一)以光线走向分类
          1、透射光栅
          在透明的玻璃上均匀地刻划间距和宽度相等条纹而成的光栅称为透射光栅。
          2、反射光栅
           在具有强反射能力的基体上,均匀地刻划间距和宽度相等条纹而成的光栅称为反射光栅。(二)以物理原理分类
          1、黑白光栅
         又称为幅值光栅。有透射式和反射式。黑白透射光栅是在玻璃表面,刻划成一系列平行等间距的透光缝隙和不透光的栅线,黑白反射光栅是在金属的镜面上刻成全反射和漫反射间距相等的条纹。
         2、相位光栅
         又称为衍射光栅,斜面倾角光栅材料的折射率和入射光的波长来确定。相位透射光栅应用较少,相位反射光栅适用于作精密测量之用。栅线密度较高,一般为每毫米100~2800条。

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         (三)以外形和用途分类
          1、长光栅
         主要用于测量长度。光栅条纹密度有每毫米25、50、100、250条几种。并有透射式和反射式;也有黑白和相位的。
       2、圆光栅
       1)径向光栅
        径向光栅的栅线延长线全部都通过圆心。
         2)切向光栅
         切向光栅的栅线延长线全部与一个同心小圆相切,同心小圆的直径较小。圆光栅主要采用透射方式。
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